薄板の金属加工・薄板金属の精密加工方法として有用なエッチング（フォトエッチング）加工。ここではエッチング（フォトエッチング）加工で用いられる主な設備・装置について紹介します。
エッチング（フォトエッチング）加工に使われる主な設備・装置は以下の4つです。
ここでは上記4つの設備・装置について詳しく紹介します。
エッチング（フォトエッチング）加工の最初に使用される装置です。
エッチング（フォトエッチング）加工では、使用する素材に油分や埃が付着していると製品不良につながるため、最初に素材の脱脂・洗浄を行います。
使用する素材にあった薬液などをスプレーで吹き付け、素材の表面を清浄化します。
レジストをコーティングした材料にUV（紫外線）を照射する装置です。
UVと材料の間にはフォトマスクがセットされ、遮光部分でUVをさえぎることで遮光された部分とされない部分を作り出し、製品形状を材料に転写させます。
UVが照射された部分はレジストが硬化します。
露光された基材に薬液を吹き付けることで、UV硬化しなかった箇所のレジストを除去する装置です。
この装置によりエッチングで腐食させたい箇所を露出させます。
エッチング液を吹き付け、素材を腐食・溶解させる装置です。
現像機でレジストが除去され素材が露出した部分は、この装置により腐食・溶解し穴や溝が形成されます。
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